·LEGEX系列为超高精度CNC三坐标测量机，对所有可能产生误差的因素进行严格分析并消除或较大地降低其影响。·固定桥结构和精密空气轴承在高刚性导轨上运行确保了良好的运动稳定性和超高几何精度。采用FEM结构解析模拟进行彻底的应力分析，保证了几何运动精度，使负荷及其它变量波动造成的误差降至较小。另外，其他多种技术如抗振测量等用于驱动单元结构中，实现了超高精度·配备有三丰超高精度标尺、热膨胀系数几乎为零的超高精度微晶玻璃尺以及高分辨力、高性能的反射型线性编码器。为其性能提供了卓越的位置检测功能。·LEGEX高精度系列三坐标测量机配有温度补偿功能，因此设置环境不需要恒温控制室，就可以在18-22ºC的温度范围内保证主机精度。·提供丰富的选件，包括触发式和非触发式测头，数据处理部等支持超高精度测量，如要求高尺寸精度的齿轮、轴承、透镜、硬模或滚动转子