·与电气信号成比对空气压力进行无级控制 ·最高供给圧力:5.0MPa·圧力设定范围:0.01~3.0MPa·最大流量:3000L/min(ANR)·使用流体:空气,N2,O2,Ar·接流体部:使用氟素润滑脂